0.4-1.1 <Ω·cm>
抵抗率
≤16 <ppma>
酸素含有量
≤1 <ppma>
炭素含有量
≥70 <µs>
少數(shù)キャリア壽命
プロジェクト
仕様
検出方法
結(jié)晶育成方法
CZ(チョクラルスキー)法
--
結(jié)晶性
単結(jié)晶
--
導(dǎo)電タイプ
P型
PN測定機
寸法
M10：182.2×182.2 φ247 mm
G12：210×210 φ295 mm
シリコンウェハー選別機
厚さ
M10：90-160 μm
G12：90-160 μm
シリコンウェハー選別機
| プロジェクト | 仕様 | 検出方法 |
|---|---|---|
| 結(jié)晶育成方法 | CZ(チョクラルスキー)法 | -- |
| 結(jié)晶性 | 単結(jié)晶 | -- |
| 導(dǎo)電タイプ | P型 | PN測定機 |
| 寸法 | M10：182.2×182.2 φ247 mm G12：210×210 φ295 mm |
シリコンウェハー選別機 |
| 厚さ | M10：90-160 μm G12：90-160 μm |
シリコンウェハー選別機 |
電気特性
プロジェクト
仕様
検出方法
抵抗率
0.4-1.1 <Ω·cm>
シリコンウェハー選別機
少數(shù)キャリア壽命
≥70<µs>
少數(shù)キャリア壽命測定機BCT-400
酸素含有量
≤16<ppma>
FTIR(フーリエ変換赤外分光分析裝置)
ASTM F121-83準(zhǔn)拠
炭素含有量
≤1<ppma>
傅里葉變換紅外光譜儀 FTIR(フーリエ変換赤外分光分析裝置)
ASTM F121-83準(zhǔn)拠
| プロジェクト | 仕様 | 検出方法 |
|---|---|---|
| 抵抗率 | 0.4-1.1 <Ω·cm> | シリコンウェハー選別機 |
| 少數(shù)キャリア壽命 | ≥70<μs> | 少數(shù)キャリア壽命測定機BCT-400 |
| 酸素含有量 | ≤16 |
FTIR(フーリエ変換赤外分光分析裝置) ASTM F121-83準(zhǔn)拠 |
| 炭素含有量 | ≤1 |
傅里葉變換紅外光譜儀 FTIR(フーリエ変換赤外分光分析裝置) ASTM F121-83準(zhǔn)拠 |
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